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   》高溫乾式蝕刻清洗
> LED 磊晶異常片清洗

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以Thermal Dry Etching的方式來去除(remove),MOCVD後的異常晶片,取代目前的機械式加工方式(破壞式)!
最後磊晶片 (2",4",6"),都可以完全回復到Epi-ready的狀態,重點是藍寶石基板厚度不會像傳統Reclaim的方式變薄.保證維持原來基板厚度並且圖形化襯底也可保留!!
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